スパッタ装置
1インチスパッタを2本導入しました。ターゲット-基板間距離を10-110 mmの範囲で変化させて成膜できるようになりました。
All-solid-state Lithium battery, Surface and Interface, Thin film, Low-dimensional physics
日本工業大学の申請事業「次世代動力源としての全固体電池技術の開発と応用」が、文部科学省の平成29年度「私立大学研究ブランディング事業」に採択されました。
・ 16th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '26 (ALC'26)、2026年11月2-6日、Howard Beach Resort、Kending、台湾
・ 16th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-16)、2026年10月19-23日、アクリエ姫路
・ MBA技術部会・研修セミナー「透過電子顕微鏡とその周辺技術」、2026年4月23-24日、東レ研修センター