スパッタ装置
1インチスパッタを2本導入しました。ターゲット-基板間距離を10-110 mmの範囲で変化させて成膜できるようになりました。
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文科省・私立大学研究ブランディング事業
日本工業大学の申請事業「次世代動力源としての全固体電池技術の開発と応用」が、文部科学省の平成29年度「私立大学研究ブランディング事業」に採択されました。
講演情報
・ The 10th international Symposium on Surface Science (ISSS-10)、2024年10月20-24日、北九州
・ 15th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '24 (ALC'24)、2024年11月17-22日、松江